日本shinkuu φ300mm  Pt 镀膜机MSP-12in

配备兼容 12 英寸晶圆的大面积样品台。使用磁控管方法，当涂层电压为 500V 或更低时，可减少离子损伤。
从脱气到大气气体引入和涂层的全自动操作，具有自动涂层功能。
配备前滑动式样品台，可轻松放入和取出样品。如果安装 Ag 靶材，则可以轻松进行透明薄膜等光泽处理。

12in 型和 12S 型取决于涂层区域！

MSP-12in
靶材的直径为 12 英寸（直径 300 毫米），均匀地覆盖整个 12 英寸晶圆。它适用于大面积涂层和大量样品的涂层。

MSP-12S
靶电极的 尺寸为直径 50 mm。当您想要对大面积样品（例如 12 英寸晶圆）的一部分进行镀膜时，可移动靶非常有用。通过缩小电极尺寸可以降低运行成本。此外，无需破碎大晶片。

日本shinkuu φ300mm  Pt 镀膜机MSP-12in

主要产品规格