日本sscooling半导体冷水机组Nikola 3K/5K 实验室冷水机

日本sscooling半导体冷水机组Nikola 3K/5K 实验室冷水机

参考价: 订货量:
￥ 50000 1000台

具体成交价以合同协议为准
2024-03-24 12:00:18
930
属性：
产地:进口；冷却方式:水冷式；仪器种类:分体式；
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产品属性
产地
进口
冷却方式
水冷式
仪器种类
分体式
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秋山科技（东莞）有限公司

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产品简介

日本sscooling半导体冷水机组Nikola 3K/5K
用于等离子刻蚀和其他半导体应用的高容量热电冷水机组

详细介绍

日本sscooling半导体冷水机组Nikola 3K/5K

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  • 我们专为半导体加工而设计的最高容量冷水机组

  • 3，000 或 5，000 瓦的冷却能力

  • ±0.05°C 温度稳定性/重复性

  • 两种泵选项，流量高达 10 gpm，压力高达 100+ psig

  • 减少晶圆间的变化，消除晶圆效应

  • 比基于压缩机的冷水机组节能高达 80%

  • 采用热电技术，可靠性高，维护成本低

  • 模块化设计，易于维护

  • 消除氟利昂和其他有害制冷剂，符合新的环境法规

  • 使用更少的设施水和昂贵的冷却剂，如氟惰性或高登

  • 通信接口可用于 AMAT、LAM、TEL 和 Hitachi 系统

  • 通用电源 – 插入即可在世界任何地方使用

  • 等离子蚀刻、等离子灰分、计量、CMP 和其他工艺的解决方案

规格

工作范围：
-10°C 至 80°C
环境温度：
10°C 至 40°C 无冷凝
稳定性/可重复性：
恒定负载下± 0.05°C（即使在接近环境温度时）
制冷量*：
尼古拉 3K：3000 瓦 @ 20°C（20°C 设施用水） 尼古拉 5K：5000 瓦 @ 20°C（20°C 设施用水）
冷却液/工艺流体：
针对氟惰性/高登或HFE流体进行设置
提供可选的乙二醇/水配置
工艺流体接头：
3/4“ 世伟洛克（316 不锈钢）
泵：
磁耦合涡轮机（高功率或高功率）
流量：
高达 10 加仑/分钟（38 升/分钟），流量和
压力可调（10 至 100 psig）
油箱容积：
10 升（2.6 加仑），带 2 个液位传感器
设施用水：
25 升/分钟（6 加仑/分钟）@ 7-25°C 过滤，处理过的循环设施冷却水，pH 6.5 至 8.2
设施水配件：
3/4“ 世伟洛克（316 不锈钢）
N2/CDA（必需）：
500 sccm -30°C 露点或更低的 CDA 或 N2，
30-60 psig （2-4 bar），用于低温操作
接液材料：
工艺：铝，不锈钢和聚合物设施
：密封硬质阳极氧化铝
和不锈钢
尺寸（宽 x 深 x 高）：
22 英寸 x 28 英寸 x 35 英寸（56 厘米 x 71 厘米 x 89 厘米）
重量：
~300 磅（136 千克）干
电源输入：
200-240 VAC 3 相，50/60 Hz，最大 20/30 A
断路器：
20/30 安培 480 VAC 3 极，带 GFCI
远程EMO：
外部干接点
通信：
泛林， 应用材料公司， RS232， 其他
警报：
温度、液位、系统或组件
故障（显示、干接点和机器接口）
标准：
半 S2-0200，符合 F47 标准，CE
保证：
2 年



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