lintec高性能数字质量流量控制器MC-3000L 便携式超声波流量计-秋山科技（东莞）有限公司手机版

详细介绍

lintec高性能数字质量流量控制器MC-3000L

高性能数字质量流量控制器，具有 ±1% SP 保证。

LINTEC的环境温度补偿传感器即使在低温下也能实现高精度的流量测量。它可抑制由于传感器受热而导致的老化劣化，甚至可以控制流量，即使是臭氧等高度可降解的气体。

作为选项，高性能、数字质量流量控制器可以处理液化气、微流量 F.S.、宽范围、表面间距和接头名称。

由于CVD（化学气相沉积）ALD沉积设备和蚀刻设备中使用高活性气体，因此具有高耐腐蚀性金属密封的气体质量流量控制器至关重要。

此外，前驱体在常温常压下含有大量液化气体，因此具有耐热性且不易液化的阀门结构很重要。 MC-3000L高精度质量流量控制器可从液化气选项中选择，最高工作温度为50°C（可选55°C）。

分析仪可能需要控制分钟流速，但一般质量流量控制器的最小F.S.为5 SCCM，无法控制分钟流速。 MC-3000L高精度质量流量控制器可选配F.S.1SCCM或更低尺寸。详情请联络我们。

此外，高精度质量流量控制器MC-3000L还标配低死体积隔膜阀。

lintec高性能数字质量流量控制器MC-3000L

温度	最小压差	最大压差	精度	控制范围	低标准	最高 F.S.	密封
5~50°C	50kPa	300kPa	±1%自保	2~100%F.S.	5SCCM	400SLM	金

* 规格表为具有一般规格的质量流量控制器。可以通过选项进行更改。