日本lintec小型燃气加热器 HX-0020 喷头-秋山科技（东莞）有限公司手机版

详细介绍

日本lintec小型燃气加热器 HX-0020

紧凑型紧凑型气体加热，最高加热温度为200°C。

特点

设计紧凑，面之间 160 mm ×宽 55 mm
加热 N2 气体 10SLM 至 200°C
能够加热不腐蚀气体接触材料的气体（SUS316L）
也可在真空和加压下使用

使用示例

原子层沉积和 CVD 设备热吹扫

液化气体通常用于ALD和CVD等真空沉积，但用室温气体吹扫会使温度冷却并冷凝，相反，吹扫可能不足。这就是热吹扫的用武之地。紧凑型气体加热器（HX-0020）的占地面积与 MFC 没有太大区别，可以加热到 200°C，使气体加热接近使用点，使其成为 ALD 和 CVD 等真空沉积设备热吹扫的理想选择。

日本lintec小型燃气加热器 HX-0020

规格

	流量（N2当量）	压降（N2）	耐压（G）	工作温度	气体接触部件材料
规范	10SLM	14kPa	1兆帕	200°C	不锈钢316L

* 有关小型燃气加热器和小型换热器的详细规格，请直接与我们联系。

产品简介

详细介绍

特点

使用示例

原子层沉积和 CVD 设备热吹扫

规格