MTI ALD-1200X-R-4 管式炉系统
旋转粉末ALD 4“管式炉系统（高1200oC）-ALD-1200X-R-4
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ALD-1200X-R-4是一种4英寸旋转管式炉，结合了两通道A LD 阀和一通道液汽输送（原子层沉积）以及四通道气体输送，从而通过。既ALD和CVD的智能设计，使ALD更具成本效益和负担得起的每一个研究小组。
规格：
控制面板
| - 蒸气，ALD和气体流量的所有参数都集成到一个移动推车中，并由PLC通过6英寸触摸屏进行控制：
- 请点击下图查看控制界面
  | ALD阀
 | - 两个带有脉冲控制器的ALD阀（持续时间至少10毫秒）
- 能够用热执行器加热
| 液体蒸气发生器
 | | 旋转炉
 | - 高1100ºC，可连续加热
- 两个可编程的精密数字温度控制器，具有30个段。
- 输入功率：208 – 240V AC输入，大单相。4千瓦
- 转速：0-10 RPM
- 4“石英管如下图
 四个搅拌叶片  尺寸
| 防腐蚀压力表
 | - 3.8x10 -5 至1125托测量范围
- 防腐蚀，气体类型独立
- 大气中的高精度和可重复性，可实现可靠的大气压检测
- 快速的大气检测消除了等待时间并缩短了处理周期
- 易于更换的即插即用传感器元件
- 点击图片查看详细规格。
| 真空泵
（可选） | - 加工管内可达到10E-2 Torr 真空
- 不包括真空泵，建议您通过单击下面的图片订购用于CVD工艺的干式泵
 
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更多起泡器
可选
| - 单击下面的图片订购用于CVD的起泡器或蒸发器
- 可以增加 Quartz Crysta l和热电偶 来监控薄膜厚度和温度，但需要额外付费
   | 保证 | 一年有限保修，提供终身支持（保修范围内不包括易耗部件，例如处理管，O形圈和加热元件） | 合规
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应用笔记单击此处以了解如何 使用气体调节器
| - 带石英管的管式炉设计用于真空和< 0.2 bar / 3 psi / 0.02 Mpa的低压
- 甲ttention：必须在气瓶安装的两级压力调节器，以限制压力低于3 PSI安全操作。
- 气体的流量应限制为<200 SCCM（或200 ml / min），以减少对管子的热冲击
- 所有石英管炉的真空极限定义：*真空压力只能在高1000°C的温度下安全使用
| 应用 | - 使用ALD可以显着降低石榴石电解质和电极材料之间的高固-固界面阻抗。
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 高1200°C的两通道ALD 4英寸管式炉系统-ALD-1200X-4 销售价格： 询价 |  ALD和PECVD组合管式炉系统-OTF-1200X-ALD 销售价格： 询价 |  带有原位蒸发器，4通道MFC和真空泵的1200ºCPE-HPCVD旋转炉-OTF-1200X-II-PEC4 销售价格： RFQ |
MTI ALD-1200X-R-4 管式炉系统
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