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利用白光干涉测量法的原理，NanoCalc用一个宽波段的光源来测得不同波长的反射数据，由于反射率n和k随膜厚的不同而变化，NanoCalc根据这一特性来进行曲线拟合从而求得膜厚。在NanoCalc中，不同类型材料的相应参数通过不同的模型来描述，从而保证了不同类型材料膜厚测量的准确性。NanoCalc的膜厚测量范围为1nm到1mm，只要待测材料有一定的透射或反射就能通过NanoCalc进行膜厚测量，这些材料包括氧化物、氮化物和保护膜层等，通常这些覆膜的基地材料包括硅晶片或玻璃灯。
光学膜厚系统光谱仪1nm以上的金属膜厚也能测量，只要不是*不透光的。对于已知的系统，3层以内的多层膜厚测量可以在不到一秒钟时间内完成。
通常拟合曲线和实际曲线由于干涉会引起一些差异，NanoCalc的算法充分考虑到了这一点，从而可以在比较粗糙的表面进行测量。
光学膜厚系统光谱仪产品主要优势和特点
快 速： | 每次测量只需轻点一下鼠标，测量结果立即呈现在显示屏上，不到一秒钟。应用于在线模式下，可接受到采样信号后，立即测量。 |
准 确： | 分辨率0.1nm，重复性0.3nm，准确度优于1%，并且还有数百种材料组成的庞大材料库，帮助您准确分析您的薄膜。同时NanoCalc为光学测试系统，无任何运动部件，不会由于多次测量产生回程误差等机械运动误差，可长时间稳定工作。 |
无 损： | 光学无损检测，无需像台阶仪、SEM等需破坏样品进行测量。 |
灵 活： | 重量约为3.5kg，体积为180*150*263mm，USB连接方式，自适应90-240V的电压，携带方便，安装简单，可任意放置于实验室、生产线甚至办公桌上使用。拥有多种特种配件，可适用如非平面测量，显微测量，mapping等特殊要求。 |
易 用： | 软件界面直观，操作简便，用户体验出色。无需专业知识以及复杂的技术培训，预先设置好测试配方后，每次重复调用即可。 |
性价比高： | 相对于传统膜厚测量设备，NanoCalc拥有非常高的性价比。 |
