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超纯水设备产品介绍
超纯水设备用于光电材料生产、加工、清洗;LCD液晶显示屏、PDP等离子显示屏、灯管显像管、微电子工业、FPC/PCB线路板、电路板、大规模集成电路需用大量的纯水、超纯水清洗半成品、成品。集成电路的集成度,对水质的要求也越严格,这也对超纯水处理工艺及产品的简易性、设备自动化、生产的连续性、可持续性等提出了更加严格的要求。都应该使用多种纯化技术相结合制取的纯水,这样才能大大提升纯水的纯度,符合用水需求。
工艺设计
1、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混合床→精混合床→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→精密过滤器→用水对象 (≥18MΩ.CM)(传统工艺)。
2、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥18MΩ.CM)(新工艺)。
3、预处理→一级反渗透→加药机(PH调节)→中间水箱→二级反渗透(正电荷反渗膜)→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥17MΩ.CM)(新工艺)。
4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象(≥15MΩ.CM)(新工艺)。
5、预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混合床→精混合床→紫外线杀菌器→精密过滤器→用水对象 (≥15MΩ.CM)(传统工艺)。