产品型号

ME-L全自动高精度穆勒矩阵型椭偏仪

主要特点

1、采用氘灯和卤素灯复合光源，光谱覆盖紫外到近红外范围 (193-2500nm)

2、可实现穆勒矩阵数据处理，测量信息量更大，测量速度快、数据更加

3、基于双旋转补偿器配置，可一次测量获得全部穆勒矩阵的16个元素，相对传统光谱椭偏仪可获取更加丰富全面的测量信息

4、颐光技术确保在宽光谱范围内，提供优质稳定的各波段光谱

5、数百种材料数据库、多种算法模型库，涵盖了目前绝大部分的光电材料

6、集成对纳米光栅的分析，可同时测量分析纳米结构周期、线宽、线高、侧壁角、粗糙度等几何形貌信息

技术参数

1、应用：科研级/企业级

2、基本功能：Psi/Delta、R/T、穆勒矩阵等光谱

3、分析光谱：380-1000nm(支持扩展至210-1650nm)

4、单次测量时间：1-8s

5、重复性测量精度：0.005nm

6、精度(直通测量空气)

  椭偏参数:ψ=45±0.05°△=0±0.1°

  穆勒矩阵:对角元素m=1±0.005；非对角元素m=0±0.005

7、光斑大小：大光斑2-3mm；微光斑200μm

可选配置

波段选择

V:380-1000nm

UV:245-1000nm

XN:210-1650nm

DN+:193-2500nm

角度选择

自动:45-90°

手动:55-75°(5°步进),90°

固定:65°

其他选择

Mapping选择:100×100mm(供参考,按需定制)

温控台:室温一600C(供参考,按需定制)

可选配件

1

温控台

2

Mapping扩展模块

3

真空泵

4

透射吸附组件