产品型号

微型PECVD系统

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、气：设备腔室内需充注气体，需自备气瓶气源

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重50kg以上

5、通风装置：需要

主要特点

1、加热圈套有石英罩，以减小热量损失。

2、样品可置于加圈内，以达到更好的加热效率和温度均匀性。

3、采用PID方式调节温度，可设置30段升降温程序。

4、设有一滑动法兰安装于移动加上，以便于样品的放入和取出。

5、已通过CE认证。

技术参数

等离子源

1、等离子体射频电源：110V/220V  50Hz/60Hz   <100W

2、输出频率：13.56MHz

3、射频功率：7.2W、10.5W、18W三档，可调节

4、腔体尺寸：外径Ø76.2mm×内径Ø68.58mm×长406.4mm

5、加热圈：电源220V，大功率500W，外径Ø50mm×内径Ø40mm×70mm，并套有内径Ø50.8mm×Ø75mm的石英罩

6、法兰：Ø3″不锈钢法兰，设有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接头、不锈钢针阀

7、通入气体：可通入多种惰性气体，如N₂、Ar，不可通入易燃易爆性气体

8、真空度：10^-2torr（机械泵）

两通道混气系统

1、浮子流量计：10ml/min-100ml/min，2个

2、针阀：304不锈钢针阀，3个

3、压力表：-0.1MPa-1.0MPa（0.01MPa/grid），3个

真空泵

1、抽气速率：120L/min

2、接口：KF-25

产品规格

1、尺寸：等离子源216mm×254mm×203mm，控制盒102mm×254mm×203mm，

　　　　 两通道混气系统340mm×300mm×180mm，移动架600mm×600mm×1250mm

2、重量：32kg