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产品简介:DX-7系晶棒及晶片角度测量仪是双侧工作台,可同时进行操作,用于对晶棒及晶片的角度进行测量。
DX-7系列晶棒、晶片角度测量仪参数对比表
型 号 | DX-7B | DX-7BG | ||||||||||||||||||||||||
主要特点 | 设备构造:设备分为落地式一体机。 外型尺寸:1132(长)×642(宽)×1200(高)mm。
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设备精度 | 设备综合精度为±30″ (以供方提供的标准石英片10ī1面测量) | 设备综合精度为±15″ (以供方提供的标准石英片10ī1面测量) | ||||||||||||||||||||||||
最小读数 | 10″ | |||||||||||||||||||||||||
仪器配置 | DX-7B和DX-7BG型X射线单晶定向仪由机台、管套及各种机械附件组成的机械部分;由稳压器、控制器、高压变压器、放大器、计数器、风冷电机、X射线管及各种指示仪表组成的电气部分构成。 | |||||||||||||||||||||||||
技术指标 | (1)X射线发生器部分: X射线管:铜靶,风扇冷却,阳极接地。 管电压:30KVP,全压合闸。 管电流:0—5mA 连续可调,使用2.0mA以上,有可能损坏X光管并加大辐射危害。 (2)输入电源:单相交流220V,50Hz,整机总耗电功率不大于0.3 KW 。 (3)角度测量范围: 2θ角:-10~+110° θ角:-5~+55°。 | |||||||||||||||||||||||||
衍射方式 | 单衍射 | 双衍射 | ||||||||||||||||||||||||
放大系统 | 传统放大器 | 新型放大器 | ||||||||||||||||||||||||
接收系统 | 计数管计数率为104/秒 | 计数管计数率为108/秒 (是普通系列的1万倍) | ||||||||||||||||||||||||
接收器寿命 | 1年 | 3年以上 | ||||||||||||||||||||||||
X光管寿命 | 按照国家标准400小时 (X光管可以使用3-4个月) | 是正常使用状况下的2-3倍 (X光管至少可以使用一年) | ||||||||||||||||||||||||
X管电流强度 | 1-1.5mA | 0.5-1.0mA | ||||||||||||||||||||||||
测量和使用效果 | X光管使用2-3个月有可能出现多个假峰,影响准确度。需要经常更换X光管,影响生产效率。 | 可以滤掉X光管的杂峰,不存在假峰现象。X光管可以使用1年左右,不需要频繁调整机器。 | ||||||||||||||||||||||||
精度 | 精度±30秒(或±0.008度) | 精度±15秒(或±0.004度) | ||||||||||||||||||||||||
辐射 | 测量时使用 mA量越来越大,射线辐射量较大。 | 测量时使用 mA量小,射线辐射量较小。 |