产品型号

PCE-22紫外臭氧清洗机

主要特点

1、仅室内使用; 海拔高度5500英尺以内;

2、温度范围：5-40℃;

3、相对湿度80％，30.5℃，40℃线性降至50％相对湿度;

4、主电源波动不超过额定电压的10％;

5、污染等级2; 臭氧水平（环境）测量<45 ppb。

6、去除分子级别的污染物

7、紫外光固化粘合剂

8、紫外光催化

9、氧化PDMS

10、表面消毒

11、刻蚀

12、清洗MEMS 器件

13、清洗各种基片，如Si, Ge, GaAs和各种氧化物单晶基片

技术参数

1、功率：350W

2、AC 208~240V，单相 50/60Hz

腔体&样品台

1、不锈钢壳体

2、抽屉式样品台，以便放样取样

3、样品台面积310 mm x 320 mm

4、臭氧通风装置安装在腔体上

5、样品台与紫外灯的距离：20mm -40mm（可调）

6、样品台可以加热，温度可达150℃

7、可设置20段升降温程序，控温精度为+/-1℃

8、设备运行时间：0.01 秒- 99.9小时

排气口

1、直径为80mm的排气口安装在仪器后端

2、请将橡胶管与排气口连接，将臭氧排出到实验室外

3、仪器中不包含橡胶管

紫外灯

1、可发出双波长的水银灯

2、功率：55W

3、发出光的波长：254 nm 和 185 nm

4、使用寿命：2500 小时（可更换）

5、照射区域：200 x 200 mm

6、可以清洁直径为12英寸x 35毫米的晶体晶片。

产品规格

1、尺寸：510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)

2、重量：28kg