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介质阻挡放电过程中，电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、活性氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。低温等离子是以过氧化氢（H2O2）为灭菌剂。在低温真空状态下，通过消毒柜中的高频电场作用产生等离子体，其中活性物质与微生物体内的蛋白质和核酸发生化学反应，摧毁微生物和扰乱生存功能，再以H2O2为媒质，作用于微生物细胞，进一步对微生物实施灭杀。
使用优点：寿命长，离子量均匀，能耗较低，
使用范围：用于非接触或接触式低温离子设备或空气消毒设备中
