RTS-4型四探针薄层电阻测试仪

可连接电脑使用也可以不连接电脑使用，连接电脑使用带自动测量功能，自动选择适合样品测试电流量程；

高速并口通讯接口，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒；

RTS-4型四探针薄层电阻测试仪技术指标 ：.

测量范围  

电阻率：0.0001～2000Ω.cm(可扩展)；  
方块电阻：0.001～20000Ω/□(可扩展)；
电导率：0.0005～10000s/cm；
电阻：0.0001～2000Ω；

可测晶片直径

 140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
 200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；

恒流源：电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调

数字电压表：量程及表示形式：000.00～199.99mV；    
 分辨力：10μV；
 输入阻抗：>1000MΩ；
精度：±0.1% ；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；

四探针探头基本指标  间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
机械游移率：≤0.3%；
探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)；

四探针探头应用参数  (见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)  0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整机测量相对误差 (用硅标样片：0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度  ≤5%

软件功能（选配）软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据ZUI大值、ZUI小值、平均值、ZUI大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据生成直方图，也可把测试数据输出到Excel中，对数据进行各种数据分析。软件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。

计算机通讯接口：并口，高速并行采集数据，连接电脑使用时采集数据到电脑的时间只需要1.5秒

标准使用环境 温度：23±2℃；
相对湿度：≤65%；
无高频干扰；
无强光直射；