搭载场发射电子光学系统，将岛津EPMA分析性能发挥到

从SEM观察条件到1μA量级，在各种束流条件下都拥有非常的空间分辨率的场发射电子光学系统。结合岛津传统的高性能X射线谱仪，将分析性能发挥至。

超高分辨率面分析

对碳膜上Sn球放大3万倍进行面分析。即使是SE图像（左侧）上直径只有50nm左右的Sn颗粒，在X射线图像（右侧）上也是清晰可见。

的空间分辨率

EPMA可达到的别的二次电子图像分辨率3nm（加速电压30kV）分析条件下的二次电子分辨率。
（加速电压10kV时20nm@10nA/50nm@100nA/150nm@1μA）

二次电子图像分辨率3nm

碳喷镀金颗粒的观察实例。实现分辨率
3nm（@30kV）。相对较高的束流也可将电子束压
细聚焦，更加容易的获得高分辨率的SEM图像。

大束流超高灵敏度分析
实现3.0μA（加速电压30kV）的束流。
全束流范围无需更换物镜光阑。

最多可同时搭载5通道高性能4英寸X射线谱仪
无人可及的52.5°X射线取出角。
4英寸罗兰圆半径兼顾高灵敏度与高分辨率。
最多可同时搭载5通道相同规格的X射线谱仪。

全部分析操作简单易懂
全部操作仅靠一个鼠标就可进行的可操作性。
追求「易懂」的人性化用户界面。
搭载导航模式，自动指引直至生成报告。

超高灵敏度面分析

使用1μA束流对不锈钢进行5000倍的面分析。精确地捕捉到了Cr含量轻微不同形成的不同的相（左侧），同时也成功地将含量不足0.1%的Mn分布呈现在我们眼前（右侧）。