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氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，小检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用华爱公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量。产品先后荣获上海市*成果转化*项目。
氟的技术指标：
| 项目 | 指标 | |
| 氟（F2）（体积分数）/10-2 | ≥ | 99 |
| 氧（O2）+氮（N2）（体积分数）（N2）/10-2 | ≤ | 0.45 |
| 四氟化碳（CF4）（体积分数）/10-2 | ≤ | 0.05 |
| 氟化氢（HF）（体积分数）/10-2 | ≤ | 0.5 |
氟氮混合气的技术指标：
| 项目 | 指标 | |
| 氟（F2）（体积分数）/10-2 | 20 | |
| 氮（N2）（体积分数）（N2）/10-2 | 80 | |
| 氧（O2）（体积分数）（N2）/10-2 | ≤ | 0.08 |
| 四氟化碳（CF4）（体积分数）/10-2 | ≤ | 0.03 |
