皮米精度位移激光干涉仪

纳米表面轮廓仪

点衍射激光干涉仪-大口径（≥700mm）高精度（≤0.6nm RMS）无出口限制

光纤法布里-珀涉仪

Xper WLI 白光干涉仪

高分辨率激光干涉仪

Kaleo MultiWAVE多波长动态干涉仪

马赫增德尔/迈克尔逊光纤干涉仪

皮米级距离测量干涉仪（）

激光振动传感器

MD激光测距传感器

微型超声测振仪/超声振动传感器