品牌
经销商厂商性质
所在地
光学平台暗室/洁净室(XRM/XC、XM series)
面议桌面型气浮隔振平台(AET series)
面议被动气浮光学隔振平台(AY&AYA series)
面议桌面型气浮隔振平台(AVT&AVS series)
面议大负载被动气浮桌腿型光学平台隔振器(AP series)
面议实验桌型花岗岩气浮隔振光学平台(ADZ series)
面议昊量光电自主千元级被动隔振平台订制
面议桌面型/ 桌子型 橡胶阻尼隔振光学平台(RHS・HS series)
面议桌面型/ 桌子型 阻尼蜂窝隔振光学平台(LHSB・HSB series)
面议Minus K 负刚度隔震平台/隔振平台(低频性能优良)
面议产品介绍视频
产品简介
明立精机的MAPS 系列产品的除振系统是在精巧的形状中加入垂直与水平用的气压驱动器而构成的组装型除振装置。使用1 组4 个的话,对应全自由度的振动,能发挥出除振性能、制振性能、定位性能等。
产品特点
MAPS 可以消除被动除振的困难频段的振动
标准的MAPS 可除振10 吨以上的设备
搭载工件等移动装置也不会摇摆
MAPS 具有精确定位及精密校平性能
MAPS 是小型易操作的组合型系列
MAPS 是构成精密设备的一个重要部分
应用领域
半导体制造,等
主要规格和参数表
附注