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Mprobe 20 单点薄膜测量仪
MProbe 20是一款桌面式单点薄膜厚度测量系统,只需点击鼠标就可进行薄膜厚度和折射率测量,测量厚度范围1nm-1mm。
MProbe 20可对多层膜层进行测量。
不同的MProbe 20主要由灯源的波长范围、的波长范围和分辨率来区分,这也决定了可以测量的材料的厚度范围和类型。
MProbe 20基于光谱,具有快速、可靠、无损等特点。
配置包括:
控制器(包括光谱仪、光源、光控制器、微处理器)
SH200A样品台,带对焦镜头,可微调
光导纤维反射探头
TFCompanion -RA软件、USB适配器(密钥)、USB记忆棒附带软件发行、用户指南等资料
根据型号和黑色吸收体的不同,校准装置(裸硅片和/或石英板和/或铝镜)
测试样品200nm的氧化硅或PET薄膜,视型号而定
USB或LAN线(用于连接主机和PC)
24VDC电源适配器(110/220V)
核心指标:
精度:<>
精度:<>
稳定性:<>
光斑大小:<>
样本尺寸:>= 10mm
参见下面小册子中MProbe 20薄膜厚度测量系统可用配置的详细规格
选型列表:
MProbe 20 | 波长范围 | 厚度测量范围 |
Vis | 400 -1100nm | 10nm – 75 μm |
VisHR | 700-1100nm | 1um-300um |
UVVISSR | 200 -1100nm | 1nm -50μm |
NIR | 900-1700nm | 100nm – 100μm |
VISNIR | 700-1700nm | 10nm-200μm |
UVVISNIR | 200-1700nm | 1nm -200μm |