等离子体是区别固态、液态、气态的第四种物质形态，气体受外电场激发放电，成为等离子体。

这是一种由电子、各种离子、原子和自由基构成的混合体，其间电子、各种离子、重粒子相互碰撞，内部能量很高但整个体系呈现低温状态，低温等离子体由此得名。

低温等离子利用高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，污染物中的大分子团被击碎，长分子链被打断成为无害的短分子物质，达到降解污染物的目的。(注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，近于常温。)

低温等离子反应器由大功率电源(高频率、高电压)、放电电极、绝缘体(介质)构成，核心部件采用石英、不锈钢等耐腐蚀材料制造，

待处理气体流经反应器被电离成为等离子体，在极短的时间里(秒)完成物质的裂解过程，其处理能力之强，能效比之高是的。

低温等离子技术能够有效去除硫化氢、氨、三甲胺、甲硫醇、甲硫醚、二硫化碳、苯乙烯、二甲二硫物质。分解羟基化合物、硫化物、酚类、醇类、胺类、脂肪酸等有毒有害物质，应用广泛。