●300W的大功率上照射X射线源，无阴影的XPS分析

●锥形块体式阳极靶，抗污染能力强
●能量分辨率优于 0.8eV（Mo 3d_5/2）
●常规分析能量分辨和灵敏度高达1.15eV@700kcps（Ag 3d_5/2）
●结合了数据采集和数据处理的Vision软件，可运行于Windows XP/Vista/7等多种平台下，实现各真空室真空度实时显示，操控真空阀门开关，实验条件设定和全自动无人值守分析等强大功能

XPS：固体样品的表面组成分析，化学状态分析，取样讯息深度为～10nm以内. 功能包括:
1. 表面定性与定量分析. 可得到小於10um 空间分辨率的X射线光电子能谱的全谱资讯。
2. 维持10um以下的空间分辨率元素成分包括化学态的深度分析（角分辨方式,,氩离子或团簇离子刻蚀方式）
3. 线扫描或面扫描以得到线或面上的元素或化学态分布。
4. 成像功能。
5. 可进行样品的原位处理 AES：1.可进行样品表面的微区选点分析（包括点分析，线分析和面分析） 2.可进行深度分析适合： 纳米薄膜材料，微电子材料，催化剂，摩擦化学，高分子材料的表面和界面研究