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近年来,以Materials Integration为代表,其应用领域及用途在不断扩展,短时间内获取大量数据,减轻作业负荷成为市场的一大需求。为满足这一需求,此次特推出的SU8700作为一款面向新时代的SEM,在日立电镜贯有的高图像质量和高稳定性的基础上,增加了包括自动获取数据等高通量的功能。
SU8700可配置各种分析附件,适用于从低加速观察到高束流的EBSD分析,支持陶瓷、金属等不同材料的解析。该系列产品的特点如下:
1.支持自动获取数据
在FE-SEM的观察和分析中,需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度,这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能,可避免人为操作导致的差异。
此外,随着仪器性能的提升,需要获取的数据种类与数量也在增加,手动获取各种大量数据会大大增加用户的作业负担。此系列产品可选配“EM Flow Creator”,用户可根据自身需求设定条件,自动获取数据,这对于未来通过获取大量数据实现数据驱动开发起到重要作用。
2.增加获取信息的种类与数量
通过SEM能够收集到多种信号,且此系列产品最多可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。
此外,为一次性获取大量信息,单次扫描像素扩展到了40,960 x 30,720(选配),是之前型号的64倍。利用这一功能,可凭借一张数据图像有效评估多处局部的细微结构。
3.增强信号检测能力
SU8700的样品仓设计巧妙,可使用短工作距离进行EDS分析,通过提高EDS分析的空间分辨率,能够实现更微小部位的分析。