美国METONE 3411 便携式空气颗粒计数器

METONE 341适用于半导体洁净室监测、过程标记和颗粒故障排除等方面的应用。MET ONE 3411 具有ISO 21501数据准确性和再现性，是业内洁净的 0.1um 微粒。

可让您的洁净室保持洁净
0.1um级别的颗粒计数器能让排气扇点尘不染
热插拔电池确保仪器长时间连续运行
由于仪器使用的是热插拔电池，故无论仪器是充电还是断电、计数归零及采用备份电源时都无需停机
测试向导（Test Wizard）能使您在组织洁净室时让合规性更容易得到保证
可在监控您的半导体生产环境时节省时间并消除错误

顺序采样系统
可用 MET ONE 3432 型顺序采样系统部署低成本的现场监控解决方案。用单台 MET ONE 3411 型空气颗粒计数器可依次从多达32个位置进行顺序采样。
灵活的通讯方式——设置简单，数据传输方便
供选择的无线，以太网和串口通讯可以将数据传输到METONE数据管理系统，或者客户已有监控软件，以便减少文书工作

直观的用户界面
简便的区域，位置和运行参数的配置和复制，节约运行时间。只需将完整的配置拷贝到一个 U 盘中，从而消除参数设置错误，并节省时间。还可以在整个颗粒计数组部署采样计划！

符合ISO 21501-4 标准的可靠性和准确性
于满足特殊颗粒计数要求，仪器与仪器之间的准确度和再现性*符合 ISO21501-4标准要求。

美国METONE 3411 便携式空气颗粒计数器

通道个数          6
粒径                0.1, 0.2, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0µ
光源                氦氖激光器
重量                不含电池：15.9 公斤，电池：0.66 公斤
尺寸                33 W 55.9 D22.9 H cm (宽 x 长 x 高)
机箱材质          便于清洗的钝化不锈钢
流速                1.0 CFM (28.3 LPM)
零计数             ISO 21501-4 和 JIS B 9921 标准:5分钟内1颗或少于一颗, 95% 置信区间
符合损失         在 50,000 /ft3 时，为5%，符合ISO 21501-4标准
泵的类型         可供连续使用的多瓣闭路循环控制泵
计数效率         在0.1 µm时为 50%。根据ISO 21501-4和JIS B 9921，粒径大于0.15µm时为
运行温度         10 至 40°C; 相对湿度为10 至 90%，无冷凝
显示 ¼           VGA 彩色 TFT 触摸屏
打印机            高速热敏打印机
语言               英语，法语，德语，意大利语，西班牙语，韩语*，日语*，中文
可以显示的数值     9,999,999 displayed
延迟时间              15秒钟至23小时59分59秒
采样/停留时间      1秒钟至23小时59分59秒
计数                    1~ 9,999,999 个计数值
位置                    编号：0 至 999; 名称:文字描述，显示在打印输出资料上
数据存储             5,000 个样品， 在历史数据查看页面上可以滚动(FIFO 或 Overflow)
输出                   USB 客户端 (版本为 1.1)USB 主机端 (版本为 1.1)RS485 配有TCP/IP 通讯协议的以太网配有802.11g通讯协议的无线输出 (可选)MET ONE 2432 型顺序采样系统 (扫描探头)
锂电池                可充电、可热插拔 Modbus TCP, Modbus RTU, 串行的 FX
输入                   空气速度探头，相对湿度/温度探头
自动                   CDA 清洗 连接到CDA之后，清洗电磁阀会被激活
电源                   24VDC，配有 100-240 VAC, 50/60 Hz 适配器
电池类型             智能锂电池，可充电，可热插拔
电池使用时间      短 3 小时
电池的充电时间   电池的充电时间
包含电池数量      2组