AL120晶圆搬送机可对应200mm以下晶圆尺寸的硅、化合物晶圆，可以安全高效搬送薄片晶圆，非常适合于前道到后道工程的晶圆检查。

AL120晶圆搬送机

适应范围广、搭配灵活

对应多种尺寸组合

我们推出了200 mm型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型（对应小于150 mm的晶圆）的3种型号。除此以外，您还可以根据检查模式，选用微观检查型号"L型"或微观•宏观检查兼用型号"LMB型"。

薄片检查

对应薄片制造厂家的需求，AL120-LMB-90搭载的新型搬送手臂的设计可以搬运整盒25枚90 μm的极薄晶圆。

高度实用性

进一步优化的宏观检查

• 宏观检查手臂可以360゜旋转，更为容易发现伤痕和微尘。

• 利用360゜旋转功能，*可以目视检查整个晶圆（包括边缘）。此外，在表面宏观检查中，使用操纵杆可随意将晶圆zui大倾斜30゜进行观察。

元中锐科集成检测技术有限公司是工业检测技术和系统集成商。是日本奥林巴斯（OLYMPUS）株式会社工业显微镜，半导体检查系统，工业内窥镜的代理商。致力于为工业制造和科研领域用户提供显微分析，图像分析，缺陷识别和检验, 无损探查, 品质管理, 计量，过程控制等专业检测设备，依托强有力的技术资源及完善专业的售后服务与维修体系，向用户提供专业成熟细致的服务及全面地解决方案。服务对象涵盖科研院校，航天，冶金，电力，地质，石油石化等材料研究行业，机械及微机械领域，以及电子领域，光电显示制造,电子零件制造, 半导体，液晶及MEMS,NANO等诸多领域，为用户提供*的仪器和完善的解决方案，为用户工作提供强有力的技术的支持。