技  术  参  数

序号

项目名称

详细参数

1

主要应用

1.表面清洁  2.表面活化  3.键合  4.去胶  5.金属还原  6.简单刻蚀  7.去除表面有机物  8.疏水实验   9.镀膜前处理等

2

主要特点

1．实时检测和显示真空度，真空度准确使得机器在智能控制下有了可靠的依据

*2．舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用防腐蚀

*3.采用电容式 Plasma激发，实验效果稳定，均匀可靠

*4．采用薄膜按键+液晶屏显示控制，手动，自动两种模式任意切换

5．程序化设计，预先编辑好程序，仪器自动完成实验

6.无需任何耗材，使用成本低，无需特殊进行维护，在日常使用中保持仪器清洁即可，密闭真空环境下完成实验避免二次污染

3

技术规格

舱体尺寸： 255X150（直径）mm ，不锈钢舱体

频率：13.56MHz 频率偏移量＜0.2MHz  电源220V/50Hz

射频功率:150W，10到150W无极可调，精度：1瓦

时间设定：1秒到99分59秒

‍气体稳定时间：60秒  气路设置：内置两路MFC控制

外形尺寸: 552X590X295mm 整机重量： 28Kg

4

基本配置

主机 + 真空系统（真空泵 油雾过滤器  真空管  法兰） + 外加气体软管   样品托盘 + 说明书 + 电源线 + 合格证