等离子体（Plasma）

技术特点：

1.舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料，耐用、防腐容易清洁。

2.我公司小型等离子体实现了手动，自动两种模式任意切换的工作方式，方便用户实验

3.仪器实现了程序化设计，预先编辑好程序，仪器可以自动完成实验

4.无需任何耗材使用成本低，无需特殊进行维护,日常使用保持仪器清洁即可

5.我公司小型等离子体采用电容式等离子激发，处理效果均匀，激发电极板内置样品仓内顶部悬挂

6.密闭真空环境下完成实验避免二次污染

7.40Khz射频电源,自主研发质量稳定可靠，具有自动保护功能。

8.灵活的参数设置和修改功能，可适应多种处理工艺。9.采用皮拉尼真空技术，实时检测和显示样品仓的真实真空度，具有1Pa的真空分辨率，能够方便的接入MFC气体流量控制仪，实现对气体流量和真空度的精准控制和监测。

10. LED+金属按键控制方式，操作方便稳定可靠。

11.仪器外形小巧，功能齐全，操作简单，性能稳定，是您实验室小型样品的理想选择。

技术规格参数