DF250C系列质量流量控制器-数字式

量程(N2)

10SCCM-10SLM

20-50SLM

100-150SLM

200-300SLM

400-500SLM

气体

非腐蚀气体 和部分腐蚀气体

精度

±1.0%FS

±2.0%FS

重复性

±0.25%FS

±0.5%FS

有效范围

2-100

5-100

响应时间

1秒以内

1.5秒以内

2秒以内

耐压

1.0Mpa

进口压力

0.5Mpa   

工作压差

0.05-0.35Mpa 根据流量不同，需要压差不同

泄漏率

1*10-8pa·m³/s以下

1*10-7pa·m³/s以下

温度范围

5~50℃

精度保证温度

15~35℃

保存温度

-10~60℃

湿度范围

10-90%RH(不能结露)

材质

本体SUS316、SUS316L

密封圈VITON，选配NBR或FKM

电气接口

DB9

通讯接口

RJ45 和 圆芯4芯

模拟信号

0-5V输入/输出

供电

+24VDC(±10%)350mA；±15VDC(±10%)350mA

管路连接

标配1/4F9、1/2SW

选配1/4UJR、3/4SW

重量

约850-3500g