■ 线宽测量仪硬件特点

• 手动型采用光滑平整的花岗岩操作台，方便移动样品而不会被划伤

• 自动型采用闭合式球墨铸铁移动底座，低折射率光学玻璃测试平台

• 进口高感光度、高解析度彩色相机，拍摄灵敏度高，成像画质清晰

• 进口低变形、大景深、高倍率同轴光镜头，满足测试的视野要求

• 同时配备环形光源、同轴光源和定位光源，满足多种测量需求

• 高精度、高灵敏度的机械调焦装置，可准确、清晰的确定测量元素

• 配备校正仪，可随时校准仪器精度，固定倍率下可无需校正

■ 线宽测量仪软件特点

• 所有测量操控鼠标即可快速完成，操作简便易学

• 软件自动寻边测量，其重复精度更高、测量速度更快

• 多种测量单位之间可根据要求自由切换，并能实时体现

• 小数点后的保留位数可选择，0～4位之间任意设定

• 图片可上下、左右翻转，产品无需摆放角度也可测量

• 图像显示大小比例可改变，便于选择在分辨率下测试

• 改变镜头倍率无需再次标定，可直接测量，方便、快捷

• 软件具有清晰度自动检测功能，方便快速、准确的聚焦

• 具有管理员/操作员登录模式，可多级别设定权限管理系统

• 具有SPC管制输出功能，根据公差值可自动判别合格与否

• 数据可输出至Word、Excel和PDF，且数据和图片一一对应

• 测试软件可根据用户要求修改

■ 规格参数