JEOL JSM-7610FPlus 扫描电子显微镜采用半浸没式物镜和High Power Optics照明系统，提供稳定的高空间分辨率观察和分析。此外还具备利用GENTLEBEAMTM模式进行低加速电压观察、通过r-filter分选信号等满足各种需求的高扩展性。浸没式肖特基场发射电子枪，可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪（FEG）的探针电流，光阑角控制镜（ALC）在探针电流增大时也能保持小束斑，两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统，从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD 解析可以一直使用高分辨率的小物镜光阑而不需要改换。光阑角控制镜（ACL）配置在物镜的上方，在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此，即使照射样品的探针电流很大，与传统方式相比，也能获得很小的电子束斑。

JEOL JSM-7610FPlus 扫描电子显微镜规格：
1.二次电子像分辨率:0.8nm（加速电压15kV），1.0nm（加速电压1kV ）,分析时 3.0nm (加速电压 15 kV, WD8mm, 探针电流5nA )
2.加速电压:0.1～30kV
3.探针电流:数pA～200nA
4.电子枪:浸没式肖特基场发射电子枪
5.透镜系统:聚光镜、光阑角控制镜、半浸没式物镜
6.样品台:全对中测角样品台、5轴马达驱动
7.电子检测器系列:高位检测器、r‐过滤器内置、低位检测器
8.自动功能:自动聚焦、自动消象散、自动亮度/衬度调节
9.图像观察用:液晶显示器
10.屏幕尺寸:23英寸宽屏