紫外线光解技术被广泛应用于各种领域，其中就包括超纯水的制备。在超纯水的生产过程中，微粒子、电阻率和TOC等任何一个指标稍有差异，都可能导致半导体元件生产的合格率下降。对于超纯水处理，紫外线光解技术具有以下优点。
 

　　1.杀菌作用：紫外线具有很强的杀菌能力，能够有效杀灭超纯水中的细菌和病毒，降低微生物的数量，保证水质的纯净度；
 

　　2.臭氧消除：在半导体生产中，臭氧经常被用来消毒和净化水。然而，水中残留的臭氧可能会影响半导体制备下一道工序。紫外线光解技术可以有效地分解水中的臭氧，避免其对设备造成影响；
 

　　3.降低总有机碳(TOC)： 紫外线光解技术能够将有机物质分解成小分子，最终产物为二氧化碳和水，从而降低水的TOC含量；
 

　　4.余氯降解：在半导体生产过程中，为了避免对产品产生不利影响，去除水中的残余氯是必要的预处理，紫外线光解技术能有效地去除水中的残余氯；
 

　　5.安装简便：紫外线光解设备结构简单，安装方便，不需要特别的管道和设备在超纯水制备过程中。
 

　　需要注意的是，当前半导体行业超纯水制备工艺存在设计、施工安装及运维方面等痛点，安力斯立足技术创新，针对行业技术难点攻克。用持续的研发投入与产品迭代，使安力斯拥有了超纯水TOC光解技术。通过提升超纯水水质指标，优化水循环再生解决方案，帮助提升产品良品率和水资源利用效率，以“双维度”助力半导体企业降本增效。

安力斯-超纯水TOC降解产品
 

　　总的来说，紫外线光解技术在半导体超纯水处理中起到了非常重要的作用。它提高了产水水质、降低了微生物数量、降解了有机物和余氯，为半导体领域的生产提供了重要的技术及设备支持。