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详细介绍

TOC超纯水

微电子行业制备超纯水流程中，因紫外线技术在超纯水高品质要求中不引入新的物质，而得到广泛应用。

有机物是超纯水系统中最难控制的污染，随着集成电路临界尺寸不断缩小挑战，对超纯水中TOC值的要求越来越高，因此，如何配置紫外线，如何确认配置中紫外线设备的有效紫外剂量，进而使TOC去除合格且水中溶解氧不升高，安力斯将为您解决这些运营困扰。

185nmUV主要用于去除超纯水制备过程中的TOC，使出水满足美国ASTM超纯水水质标准及电子工业部电子级水水质标准。

超纯水可以在以下领域使用：

（1）电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。

（2）化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。

（3）单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺。

（4）高压变电器的清洗等

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