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工业手动真空球阀既能适用高真空又能适用一定的正压力下使用由于球阀全通导又能达到超高真空要求,所以真空球阀也能适用于加速器真空系统。密封结构设计*漏率可达到<1×10-10Pa.M3/S,改变了球阀不能满足高真空、超高真空的现状。
在真空系统中的作用:
1、开关气路,当阀1和阀4关闭,阀2打开时,机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空,气流流经预真空抽气管路;当阀2关闭,阀4打开时,机械泵可单独对扩散泵抽真空;当阀1和阀4同时打开时,扩散泵和机械泵可同时工作,对容器进行抽空,此时气流流经扩散泵。可见,阀门在这种操作中的作用是开关气路,改变气流的流经路线。
2、控制气流大小,调节真空度在图1中,调节阀1的阀盖开启角度,即可调节流经管路的气流量大小;关闭阀2和阀4,通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气;通过放气阀5可以调节容器内的真空度。
工业手动真空球阀工作原理: