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ETA620测量平台:
丝杆升降,平台上设置V型槽,用来测量形状较小的工件,可提高测量精度。
花岗岩平台工作面精度:00级(平面公差值3μm)
花岗岩平台大小尺寸:400mm×250mm×70mm
垂直升降高度:300±1mm
升降回程误差:≤手轮旋转1/6圈
TA630微调平台:
X—Y平面转角,俯仰角。
调整范围:X向 ±12.5mm Y向:±12.5mm
旋转角度:粗调 360 微调±5 俯仰角度 0~5
TA631微调平台:
X—Y平面转角。
调整范围:X向 ±12.5mm Y向:±12.5mm
旋转角度:粗调 360 微调±5
TA650测量平台(TR300专用)
垂直方向上的升降高度:300±1mm (微调由仪器上的可调支架完成)
垂直方向上的旋转角度:±45°
回程误差:不大于手轮的1/6圈
平台的平面度:00级
平台尺寸:600 X 420 X 80 mm
总高度:695 mm