臭氧发生器在产生臭氧的过程中，会产生热量，使内部温度升高。温度升高会分解臭氧，促使臭氧转化为氧气，从而减少臭氧产生。因此，在产生臭氧的过程中，需要对臭氧发生器进行冷却，以使其稳定并增加其产生量。该装置的冷却方式有风冷、水冷、油冷。工业水处理用臭氧发生器以大型臭氧发生器为主，一般采用水冷方式冷却。

为保证大型臭氧发生器的正常运行，在设计和使用过程中，必须严格遵守有关规定，以保证其高产氧量。该规则主要包括以下内容：

1.工业水处理用臭氧发生器的消毒时间的气体不得含有烃类、腐蚀性气体和其他任何可以在氧/臭氧/电晕环内发生反应的物质，因为这些物质会对臭氧发生器造成损害，并可能引发诸如爆炸等安全事故。

2.在设计水冷臭氧发生器时，应防止有大量的水流入发生器内。如水封式供气压缩机的浮阀或空气干燥器的冷凝水阀被堵塞而卡住，将进入臭氧发生器电晕室，进而引起电晕集中，电流密度大，局部介质发热，造成介质提前失效。

3.合理控制燃气供应压力的变动。气压的变化会影响电晕功率的产生和介电体电压的跨越，压力变化范围大，会使发生器运行不可靠。超过电晕的功率范围，将导致熔断器或电器自动断开。若超过外加电压峰值，也会引起介质过早失效。