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高精度热式气体质量流量计技术参数：
| 量程 | |
|---|---|
| 仪器版本 | |
| “标准版” 经济型解决方案 | 精度：满量程的 ± 1.0%* 量程比： 1 : 50 |
| “高性能版” 高的精度和量程比 可用于 GSM < 200 ln/min (200 SLPM) / GSC < 150 ln/min (150 SLPM)（空气） | 精度：满量程的 ± 0.3% + 读数的 ± 0.5% * 量程比： 1 : 100 *模拟信号可能会产生 ±0.25% 的误差 |
| 性能资料 | |
| 介质（真实气体校准） | 高精度热式气体质量流量计空气*, O2*, N2, He, Ar, CO2, H2, CH4, C3H8（要求的其他气体和混合气体） *O2 & N2 用空气校准 |
| 响应时间 | 流量计：50 ms; 控制器：150 ms |
| 可重复性 | 精度：满量程的 ± 0.2% |
| *稳定性 | < 测量值的1% / 年 |
| 电源 | 24 Vdc (18 – 30 Vdc), 15 Vdc，备询 |
| 消耗电流 | 流量计：大值 100 mA; 控制器：大值 250 mA |
| 运行压力 | 0.2 – 11 bar (3 – 160 psia) / GSC 阀门型 4.5 和 8： 大值 8 bara (120 psia) |
| 温度（环境 / 气体） | 0 – 50°C (32 – 122°F) |
| 机身材料 | 阳极氧化铝，可选电抛光不锈钢 |
| 密封 | FKM, NBR, 可选 EPDM |
| 压力灵敏度 | < 读数的 0.2% / bar（一般是 N2） |
| 温度灵敏度 | 0.025% 全标度量程类型 / 1°C (<0.012% / 1°F) |
| 预热时间 | 全精度< 1 秒 |
| 整合 & 安装 | |
| 输出模拟信号 | 0-20 mA, 4-20 mA, 0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 2-10 V |
| 输出数字信号 | RS-485; Modbus RTU (Slave); LabView-有可视化界面 / 可选配：Profibus DP-V0, DP-V1 |
| 处理连接 | G¼” (BSPP* 母口 ) 达 60 ln/min (64 SLPM) G½” (BSPP* 母口) 达450 ln/min (480 SLPM) *英国并联管路标准 |
| 入口部分 | 无要求 |
| 电气连接 | Sub D 插头9 针 |
| 安装方向 | 任意方向（水平方向*高于 5 bar） |
| 安全性 | |
| 测试压力 | 16 bara (240 psia) |
| 泄漏率 | < 1 x 10-6 mbar l/s He |
| 环境防护 | IP50 |
| EMC | EN 61326-1 |
