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Werth Inspector FQ超高速复合式三坐标测量机采用无摩擦的线性驱动系统可以做到超高速批量检测并可保证高精度，定位速度可达1m/s，加速度10m/s2，为世界上测量速度快的复合式三坐标测量机。
超高速复合式三坐标测量机主要特点：
◆ 超高速测量，采用无摩擦的线性驱动系统
◆ 三维几何自动化测量，轮廓图象处理系统，用于常规几何和自由曲面的自动测量
◆ 模快化构造能够快速适用于不同的测量任务
◆ Z轴快速成像自动聚焦系统，高速CNC连续路径控制
◆ 无畸变远心光学系统(0.2x-100x）,可选用变焦光学系统
◆ 可选配接触式测头、点激光、线激光各种传感器
技术参数：
型 号 | Inspector FQ | |
测量范围 | (X-轴) | 400-1000mm |
(Y-轴) | 400-1000mm | |
(Z-轴) | 200-300mm | |
允许测量误差 | (E1单轴精度） | (2.5+L(mm)/120)µm |
(E2平面精度） | (2.9+L(mm)/100)µm | |
(E3空间精度） | (4.5+L(mm)/75)µm | |
固定镜头 | 0.2X-100X | |
分辨率 | 0.2µm | |
工作台承重 | 150kg（300kg可选） | |
定位速度 | 1m/s | |
加速度 | 10m/s2 | |
频率 | 48-62Hz | |
仪器重量 | 1500-6000kg | |
精度保证环境条件 | 20℃±2 o Δ=1o/h | |
适用温度 | 10-35℃ | |
可选配Werth Zoom高放大倍率(0.68-6.8X或1-10X)，大工作距离(80mm标准或20mm-220mm可变)十级自动变焦系统，更高测量精度可选
依据标准 ISO 10360 和 VDI/VDE 2617
