任氏巨源微波化学气相沉积炉(CVD)
品牌
生产厂家厂商性质
所在地
| 型号/model | WBMW-QXCJ4 | ||
| 可加热材料 | 非易燃易爆的任何材料 | ||
| 微波频率 | 2.45GHZ±50MHz | ||
| 加热方式 | 纯微波加热、传统电加热、混合加热 | ||
| 功率/KW | 4 (功率可调) | ||
| 温度测试元件 | 微波场专用传感器 | ||
| 控温精度/℃ | ±2 | ||
| 加热管材质 | 石英管 | 高温合金管 | 刚玉管 |
| 加热温度/℃ | 1200℃ | 1200℃ | 1600℃ |
| 管径(外径/内经X长度)/mm | ∅45/∅35×1200，可选配，外径∅60mm | ||
| 加热速度 | ≤200 | 升温速率不限 | ≤50 |
| 恒温区长度 | 标配恒温区长度100mm，恒温去长度100mm～1000mm以上可选 | ||
| 温区 | 可多温区同时加热 | ||
| 气路法兰 | 不锈钢法兰 | ||
| 质量流量控制 | 美国Alicat质量流量&控制器、七星华创质量流量&控制器 气柜、气路及各类阀门，可配套计算机自动控制系统及软件 | ||
| 气路数量 | 2路或3路（或多路） | ||
| 流量范围 | 0-1SLM(标准升/分，可选配）氮气标定 | ||
| 精度 | ±0.2%F.S | ||
| 响应时间 | ≤1sec | ||
| 工作压力 | 进气压力0.05-0.35Mpa(表压力），流量规格≤10SLM | ||
| 系统连接方式 | 采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪 | ||
| 规格 | 高真空 | ||
| 系统真空范围 | 标准大气压～10-3Pa | ||
| 真空泵 | 简单机械泵抽真空和不锈钢法兰 10-1Pa真空用高档机械泵及真空计 10-2Pa真空用高档机械泵、扩散泵及真空计 10-3Pa真空用高档机械泵、分子泵及真空计 | ||
| 炉腔尺寸/mm | 700X350X530 | ||
| 加热腔(标配) | 0.5-3L 2个根据管径、加热区长度、加热温区数量确定 | ||
| 加热腔大小 | 0.94L，2.12L，3.8L | ||
| 升温速率(标配) | 0～1000℃/min可根据实际任意设定，可编程、分段加热 | ||
| 外型尺寸/mm | 1500´750´1560 | ||
| 微波泄漏/ mW/㎝ | ≤0.4 | ||
| 提供相关配件 | 防护手套×1、中文说明书×1 | ||
| 保质期 | 整机免费保修1年 | ||
