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YAMATO雅马拓送风定温干燥箱 C4-008
面议YAMATO雅马拓涂布机 C4-007
面议YAMATO雅马拓老化测试系统 C4-005
面议YAMATO雅马拓送风定温恒温箱 C4-004
面议YAMATO雅马拓送风定温干燥箱 C4-003
面议YAMATO雅马拓送风定温恒温箱 C4-002
面议YAMATO雅马拓真空干燥箱 C4-001
面议YAMATO雅马拓真空干燥箱C2-004
面议YAMATO雅马拓真空干燥箱C2-003
面议YAMATO雅马拓真空干燥箱C2-002
面议YAMATO雅马拓真空干燥箱C2-001
面议YAMATO雅马拓洁净箱 C3-004
面议PDC200/210/510等离子清洗机
高频输出 300W(PDC200型)/500W(PDC210/510型),电极尺寸 250×170mm(PDC200/210型)/410×170mm(PDC510型)适用于研究开发的小型等离子清洗机。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号,调取数据简单,以电子材料为中心,可对应多种用途。
YAMATO雅马拓等离子清洗机 PDC200用途
▪CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
▪去除有机膜和金属氧化膜
▪印刷电路基板的干式清洗
▪界面活性处理
▪LED封装
YAMATO雅马拓等离子清洗机 PDC200特征
▪DP模式(PDC510标配·PDC200/210选配)
▪RIE模式
▪均匀性高的电极构造
▪操作简单的触摸屏控制器
规格
型号 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
等离子模式 | RIE(DP模式选配) | RIE/DP | |
电极构造 | 平行平板(固定) | ||
高频输出 | Max300W | Max500W | |
频率 | 13.56MHz | ||
控制·显示 | 液晶触摸屏 | ||
反应室尺寸 | W400×D250×H150mm | W500×D300×H200mm | |
电极尺寸 | W250×D170mm | W400×D200mm | |
反应室材质 | 铝 | ||
反应气体 | 2系统(Ar、O2) | ||
填充气体 | N2或干燥空气 | ||
反应气体流量控制 | 流量计 | 聚合控制器 | |
真空泵 | 另行选配 | 油泵(约345L/分)标配 | 油泵(约500L/分)标配 |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个 | ||
外形尺寸 | W540×D600×H600mm | W540×D600×H600mm | W700×D700×H1285mm |
重量 | 约100kg | 约105kg | 约180kg |
电源 | 单相 AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |