MLT-DV系列干式螺杆泵

MLT-DV系列干式螺杆泵

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2022-07-22 14:00:48
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柜谷科技发展(上海)有限公司

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产品简介

MLT-DV系列干式螺杆泵,坚固紧凑耐腐蚀且易与系统集成,非常适合镀膜,光电和工业应用。
全新的干泵平台MLT-DV干式真空泵的新杆,MLT-DV系列真空泵在设计中充分考虑了太阳能行业的特殊工艺对真空泵的要求(如,PECVD,PVD,晶体的生长等等),同时满足工业应用和真空镀膜对干泵的要求。MLT-DV系列产品和机组,可靠耐用,适合严苛的工艺条件。

详细介绍

MLT-DV系列干式螺杆泵,坚固紧凑耐腐蚀且易与系统集成,非常适合镀膜,光电和工业应用。
MLT-DV系列真空泵在设计中充分考虑了太阳能行业的特殊工艺对真空泵的要求(如,PECVD,PVD,晶体的生长等等),同时满足工业应用和真空镀膜对干泵的要求。MLT-DV系列产品和机组,可靠耐用,适合严苛的工艺条件。
一个平台,多种方案;MLT-DV系列包括下列版本:①MLT-DV 450;②MLT-DV 650-r;③MLT-DV 650S;④MLT-DV 650S-i;⑤MLT-DV 650C;⑥MLT-DV 650C-i;⑦MLT-DV 650C-r;⑧MLT-DV 1200;⑨MLT-DV 1200S-i;⑩MLT-DVR 5000C-i。


MLT-DV版本及针对性应用
MLT-DV系列标准版和MLT-DV S版产品优化了在高压强(100mbar以上)下的抽速适合短节拍抽空(例如,进样室),也适合大腔室抽空。同时,这两款产品具备工业应用所要求的全部特性(例如,热处理工艺,工业镀膜,高压电器制造,乏染料干燥),*各种工业应用的要求。MLT-DV C系列产品为太阳能应用设计,适合在严苛的工艺条件下,连续高负荷地可靠运行。MLT-DV C系列的性能针对太阳能应用和平板显示器工业中的典型气体进行优化,设计合理,*应用对工艺和安全的要求。MLT-DV i系列产品配置了外壳和脚轮。通过触摸屏操控,菜单带有向导功能简单易学,并提供远程控制的总线接口。

MLT-DV系列产品的特点:
最小化运行成本,最小化占地面积和空间要求,最小化安装时间,最小化能耗;
zui大化灵活性,zui大化可靠性,zui大化工艺气载,zui大化*运行时间;

抽速曲线:


MLT-DV系列产品的设计特点:
• 水冷
• 低能耗:MLT-DV 650S在10mbar以下运行功耗仅为7KW
• 能效等级 IE2
• 全密封设计
• 内置变频器,对工作电压和工作频率的适应性强
• 内置变频器,不需要额外的电机保护
• 符合NRTL(cTUVus认证)
• 符合RoHS标准(2002/95/EG,Restriction of Hazardous Substances)

MLT-DV系列产品优势:
• 结构紧凑,占地最小;
• 能耗zui低
• 连接方式灵活;
• 噪音低;
• 可靠性高;
• 具备自动监控功能;
• 不会发生意外停机;
• zui低的保养需求;


MLT-DV系列干式螺杆泵技术参数:

型号
MLT-DVR 5000-iMLT-DV 1200-iMLT-DV 1200MLT-DV 650-iMLT-DV 650MLT-DV 450
抽速50Hzm³/h500012501250650650450
抽速60Hzm³/h380012501250650650450
极限压强mbar< 5×10-4< 5×10-3< 5×10-3< 5×10-3< 5×10-3< 5×10-3
极限压强下的能耗KW≦9.5≦14≦14≦7≦7≦5.5
重量Kg120014001400750580620
噪音dB(A)656565656565
进气口连接DNDN250DN100DN100DN100DN100DN100
排气口连接DNDN 63 ISO-K或50KFDN 100 ISO-KDN 100 ISO-KDN 63 ISO-KDN 63 ISO-KDN 63 ISO-K
电气连接
380-480V,50/60Hz380-480V,50/60Hz380-480V,50/60Hz380-480V,50/60Hz380-480V,50/60Hz380-480V,50/60Hz
400V下的额定功率KW213030151511
400V的额定电流A356262313124
冷却方式
水冷水冷水冷水冷水冷水冷
冷却水温度范围5—355—355—355—355—355—35
冷却水流量1/min1115157.57.56
环境温度+ 5 to + 40+ 5 to + 40+ 5 to + 40+ 5 to + 40+ 5 to + 40+ 5 to + 40
保护等级IP202054205454
外形尺寸mm1370×677×11051370×677×11051370×677×11051340×677×6811280×570×4201280×470×420


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