防爆压力变送器 薄膜应变计由多层（陶瓷绝缘层、NiCr 合金电阻层、Au焊盘、SiO2保护层）溅射薄膜组成，总厚度不超过4μm,采用溅射、刻蚀工艺直接形成在不锈钢弹性膜片上，*实现了敏感元件的无机质化，克服了有机粘结胶带来的蠕变、滞后、老化等不稳定因素，大大提高了产品的*稳定性。

防爆压力变送器

 全部采用SOI技术高温度可达350度左右 ，由于常规的压阻式传感器采用集成电路工艺设计、反向PN电隔离制造，PN结受温度限制，超过90度时传感器的性能会极度恶化，利用*的SOI多晶硅技术制作的力敏元件，温度可达350度左右，再配合本公司*的散热结构设计，使其在高温甚至超高温的等方面得到广泛应用，与其配套的变送器有一体化的、分体的，产品分为水冷型和气冷型两种，也可根据客户要求进行设计。广泛应用于石油化工、冶金电力、科研、化工试验、矿井、锅炉、天然气、燃气动力、自动化设备配套等。

主要技术参数 量程：0-0.6，1-5，10，20，30-60，80-150MPa 综合精度：0.1%FS、0.2%FS、0.5%FS 输出信号：1.0mV/V、1.5mV/V、2.0mV/V、 供电电压： 10DCV(6～12DCV) 输出阻抗：350/1000/1650/2000Ω　 介质温度： -20～85～120℃ 环境温度： 常温(-20～85℃) *稳定性能： 0.1%FS/年 绝缘电阻： 大于2000MΩ (100VDC) 密封等级： IP65 振动影响： 在机械振动频率20Hz～1000Hz内，输出变化小于0.1%FS 电气接口：DIN43650 机械连接：M20×1.5等，其它螺纹可依据客户要求设计

 压力传感器是恶劣工况下工业实践中常用的一种溅射应变膜片式的压力传感器，测量端采用特殊处理坚固的膜片，采用离子束溅射技术直接淀积在17－4PH弹性元件上（SiO2保护层、NiCr合金电阻层、Au焊盘，总厚度小于4um），刻蚀形成金属应变电阻，*实现敏感元件无机的一体化，克服了有机胶带来的蠕变、滞后和老化现象，大大提高了产品的精度和*稳定性，可*在-40～150℃工作温度下稳定工作。