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椭圆偏振法测量的原理很早就已提出，相应的测试方法和设备也不断地被改进和创新，使得椭圆偏振法成为重要的测试手段，并广泛地应用在光学、材料、生物、医学等各个领域。其中测量薄膜材料的厚度、折射率和消光系数是椭圆偏振法基本、重要的应用之一 。
自动椭圆偏振测厚仪仪器特点：
●仪器采用消光式椭圆偏振方式测量
●精度高、自动控制
●光源采用氦氖激光，波长精度高
●仪器采用USB接口与电脑连接
●配套软件对采样数据具有多种处理方式，适用于不同需要
●软件有完整版及学生版两种版本，适于教学要求
自动椭圆偏振测厚仪的主要技术指标：
| 编号名称参数1测量范围1nm～4000nm2测量小值≤1nm3镀膜折射率范围1.300～10.0004入射角40°～90° 误差≤0.05°5偏振器方位角读数范围0°～180°6偏振器步进角0.0375°/步7测量精度±0.5nm（10nm，±0.5nm）8光学中心高度75mm9工作台直径φ10mm～φ120mm10厚度≤10mm |
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