硅烷泵生产工作原理同微型真空栗工作原理相同，通过机械装置使栗内部做往复式运动，从而对固定容积的栗腔内的空气进行压缩、拉伸形成真空(负压)，在栗抽气口处与外界大气压产生压力差，在压力差的作用下，将气体压(吸)入栗腔，再从排气口排出。正因为抽气口处或者抽排气口可以与外界大气形成压力差，从而实现硅烷的输送。然而这种硅烷栗的动力是通过活塞的往复运动实现的，活塞为金属件，活塞周侧安装密封圈，通密封圈与活塞栗体进行密封，密封圈防止硅烷进入栗体内腔中，但是密封圈在使用较长一段时间后，密封圈容易损坏，磨损，从而导致硅烷进入栗体内腔，由于硅烷为易燃易爆气体，极易发生危险。

硅烷泵生产注意事项：
1.加装底阀或滤网，以防止外物进入泵浦。网孔孔径约5-7mm，且滤网孔的面积应为入口管径之5-10倍。
2.请保持液面zui少高于入口滤网30cm以上，以防止吸入气泡。
3.当配管高度大于8米时，必需加装逆止阀。
4.请加装保护断电器，以防止泵浦空转。
5.为了维修安全，出口必需加装阀门。
6.出口扬程高或输送距离较长，压损超过1kg以上的使用场所建议在原出口加装三通回流管，以防止反压及热气排放，减少损坏。
7.如安装两台泵浦，不能共用入口管路.