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名称 | 石英真空等离子清洗机 |
型号 | TS-SY05 |
外形尺寸(W×H×D) | 660×400×310mm |
反应腔尺寸 | Φ160×220mm |
反应腔容量 | 5L |
反应腔体材料 | 石英 |
真空泵 | 进口4L/S |
角阀 | 北仪 超真空40KF |
射频电源 | 东信 40KHZ 100KHZ 13.56MHZ 2.45GHZ |
PLC系统 | 松下 |
电气系统 | 施耐德 |
触摸屏 | 松下4.3寸 显控 |
陶瓷封装 | 进口高频陶瓷 |
处理气体 | O2、Ar2、N2,H2、CF4 |
输出功率 | 0-600W可调 |
石英腔等离子清洗机由于其*的腔体材料,使得等离子清洗机的腔体温度比普通的不锈钢腔体温度要低得多。对于材料温度有要求的产品很有帮助。而且石英等离子清洗机绿色环保、不使用化学溶剂、无二次污染。操作简单、使用和维护成本极低。
石英型等离子清洗器采用电感耦合式工作原理,利用真空泵达到一定的真空值后,在电感的作用下,形成了活性很高的等离子体,由此产生的等离子体可以达到表面改性清洗处理的效果。通过其处理,能够改善材料表面的浸润能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。
石英型等离子清洗器采用电感耦合式工作原理,在微波管、零件绝缘方面作用很突出,适用于高洁净度的敏感产品处理;广泛地被大中院校、科研机构、企业研发机构和实验室采用。
其产品主要应用在材料科学、高分子科学、生物医药材料学、微流体研究、微电子机械系统研究、光学、显微术、牙科医疗等领域中的污染物清除、表面活化、粘合前处理、表面化学改性、聚合物移植或表面涂覆等方面。该产品能处理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金属半导体、陶瓷、复合材料、高分子聚合物等材料,并对所处理的材料表面带来表面超洁净、杀菌、提高湿润性转变、表面性质改变、提高结合力等处理效果。