低温等离子废气净化器设备等离子废气净化器主要采用脉冲高频高压等离子体电源和双介质齿板放电装置，顶部放电形式产生高浓度离子。等离子体是一种聚集态物质，其所拥有的电子能在毫秒级的时间内，瞬间击穿空气和废气分子，发生一系列分化裂解反应，产生高浓度、高强度的活性自由基和各种电子、离子等，在与机废气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。

低温等离子废气净化器设备的优势：

1) 清洁能源，无二次污染，能满足节能环保的需要。处理量大、操作简单的环保新技术来处理有毒及难降解物质。

2) 处理：有效去除挥发性有机物（VOC）、无机物、硫化氢、氨气、硫醇类等主要污染物，以及各种恶臭味，脱臭效率高。

3) 无需添加任何物质：只需要设置相应的排风管道和排风动力。

4) 24小时连续工作，运行稳定可靠。

5) 运行成本低，无需专人管理和日常维护，只需做定期检查，能耗低。

活性自由基可以有效地破坏各种病毒、细菌中的核酸，蛋白质，使其不能进行正常的代谢和生物合成，从而致其死亡;而生态氧能迅速将有机废气分子等离子体中包含大量的电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的后型自由基，这些活性粒子和部分废气分子碰撞结合，同时产生的大量OH、HO2、O等活性自由基和氧化性*的O3，能与有害气体分子发生化学反应，生成无害产物。