正确地识别X 荧光能谱中各种谱峰的性质是进行准确定性和定量分析的前提,本文阐述了能量刻度的方法、元素谱峰的重迭干扰及伪峰的识别等问题。 在对样品能谱进行解析之前,首先必须建立一个准确的能量刻度标尺,本文通常选择高温合金钢谱图中多种轻重元素的Kα峰进行能量刻度,以保证整个能谱范围的标定比较准确。由于放大器增益改变等因素的影响,能量刻度的对应关系也会发生变化,这对重新测量的标样谱相对旧标尺会出现“错位”(谱图漂移) ,解决的方法是定期用新测量的标样谱重新进行刻度或者改变放大器增益直至标样谱“复位”。 

实际谱图的解析往往相当复杂,实践中还常采用下述方法进行综合分析: 
(1) 改变工作电压以观察其他谱区,特别是高能端的元素相关谱线。 
(2) 利用标样谱图作参考和比较。 
(3) 与其他检测手段相互配合、取长补短。