序号

项目

参数

1

测量行程

500mm×600mm×400mm

2

示值误差

MPEE≤3.5＋L/200mm

3

探测误差

MPEP≤3.9mm

4

分辨率

0.5um

5

主机重量

550kg

载荷

300KG

6

主机外形尺寸

1220mm×1150mm×2400mm

7

环境要求

温度范围：20±2℃，

温度变化：< 0.5℃/h     < 1°C /24h

气源压力： 0.6MPa～0.8MPa，

耗气量：200L/min(0.45MPa)

湿度范围：30%-70%

电源： 220V±5 % ，50Hz

功率：1 KW

地面振动：     振动频率≤10 Hz       振幅≤0.5μm

10 Hz<振动频率≤30 Hz       振幅≤1μm

振动频率≥30 Hz       振幅≤3μm

序号

名称

特点与优势

1

主机

主要材质及零部件：00级泰山青优质花岗岩平台，高精密泰山青花岗岩三轴导轨，精密铸造加工铝合金立柱，英国RENISHAW高精度光栅、读数头测长系统，SMC精密空气过滤器及自动检测控制装置，进口直流伺服电机，德国FESTO气管接头，优质空气轴承，德国进口配件的非线性弹簧系统，德国IGUS低摩擦无噪音拖链及高柔性拖链电缆，美国盖茨（GATES）高性能同步带，美国进口精密滚珠轴承,高级汽车级进口工业面漆等。

1.1 龙门移动式结构，整体式工作台，具有承载能力强、工件放置空间宽阔、装卸便捷的特点。三轴导轨均采用优质花岗岩材料，使三轴具有相同的温度特性，因而具有良好的温度稳定性、抗时效变形能力，刚性好、几何变形小；与专业花岗岩生厂商联合开发的新式花岗岩导轨加工检验工艺，将花岗岩导轨的加工精度提高到一个新的等级。

1.2 采用高精度空气轴承，环抱式轴承布局设计（如图1），提高了机器的刚性和稳定性，即使*工作，也能保持很高的精度，同时确保了机器优异的动态特性。

1.3 *非线性弹簧系统的应用，降低了导轨微小误差对测量精度的影响，同时保证设备具有更高的环境温度适应性。

1.4 *的Z轴防扭转设计是决定测量机精度的重要环节，可靠的防转结构设计即使在使用测头加长杆时也能获得很高的精度。

1.5 Z轴采用重力平衡装置，可靠性高，运动更平稳、顺畅。

1.6 手动三坐标测量机564三轴快速移动、锁紧、微调采用一键式转换（如图3）。只用轻轻一扳空气锁紧装置对应的开关，便可将各轴由快速移动状态转换至锁紧状态，锁紧后可通过X、Y、Z轴微调旋钮方便的移动各轴。在对工件的狭小部位进行检测时，此功能体现的尤为充分；

1.7 长度测量系统采用英国RENISHAW高精度反射式金属带状光栅尺和读数头，具有*的精度和精度稳定性。

1.8  SMC高精度空气过滤器可以使压缩空气达到*的洁净度以有效地保护空气轴承和导轨，同时自动排水装置使得操作者使用时更加省心省力，避免了因忘记排水导致的设备损坏。全数字气源检测装置，加强对气源波动检测的灵敏度，将气源对测量精度的影响降至。

1.9 完善的安全保护装置，能在一些意外发生时及时锁死三轴，避免更大的意外发生，保护机器的安全。

1.10 整机设计符合人机工程学原理，使用简单方便，易于保养及维护。