桌上型激光直写光刻系统Dilase 250 主要优势

• 小巧桌上型系统

• 掩膜板制作及激光直写

• 375nm 或405nm 激光源

• 兼容所有光刻胶

• 高深宽比: 1 x 20

桌上型激光直写光刻系统Dilase 250 

主要特点

系统尺寸: 550 x 670 x 700mm

电脑操控介面

可选激光源: 375 或405nm

带使光束成形及均化的光学组件

一种光束尺寸可选

高分辨率视频定位系统

支持文件格式: LWI (Kloé 设计格式),DXF 和GDS2

自动聚焦设定

自带设计软体: Kloé Design V.2

两种工作模式: 向量及扫描模式

技术指标

线性直写速率：> 100 mm/s 

样品平台移动分辨率：100 nm 

样品平台移动重复性：100 nm 

直写范围：1 –4 寸晶圆 

基底厚度：150 μm – 5 mm 

激光光斑尺寸：1 μm – 50 μm

物理尺寸(Form factor) ：zui少 10 

标准多层对准精度：1 μm

浙江扬清芯片技术有限公司（YoungChip）是一家专注于微流控芯片实验室整体解决方案的企业，技术力量雄厚，生产设备*，检测手段齐全，产品质量过硬。公司可提供整套微流控芯片生产线， 包括CNC 数控微加工仪器、精密激光加工系统、光刻加工系统、塑料芯片注塑系统和微流控芯片热压键合系统， 可以加工生产所有材质的芯片， 如玻璃、石英、硅、PDMS 和PMMA 等。为国内外高校、科研院所、企事业单位等研发机构提供*的微流控相关的产品及技术服务。

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