1.快速扫描

X射线荧光元素分析仪凭借150万CPS的高计数率检测器完成高灵敏度的测量，以及借助250 mm×200 mm范围扫描的快速电动样品台，实现快速扫描测量。对于范围为100 mm×100 mm的情况，可在2～3分钟内检测出端子部分的铅并确定其位置。

2. 连续多点测量

可500个测量位置进行连续多点测量。由于采用自动测量方式，因此在测量大量样品是，也可发挥高效率。

3. 高精密重合

X射线荧光元素分析仪通过Telecentric Lens 系统和高速・高精度XY平台，将元素扫描像和光学成像进行重合对微小部品的中心部分的目标元素也能进行简单观察。大250 mm×200 mm上方观察，并且能够实现广域位置误差为100 µm以内的精确定位。

4. 微小部位测量

在FT系列中被*的测量镀膜膜厚仪器就是由EA6000VX。不用说极薄的镀金等膜厚测量，即便是在进行镀膜钟所含的Pb等有害物质分析的膜压测量的同时也可进行膜厚测量。比如也可进行无铅焊锡镀层及引线框架上Sn镀层，无电解Ni镀膜中所含的有害物质的浓度测量。

5. 环境中限制物的测量

RoHS等限制物的高灵敏度测量，短时间内测出树脂、金属等中含有的微量环境限制物。对复合样品也可专注到特定部位进行测量。

6. 轻元素测量

通过安装充氦选购项，可以分析钠开始的轻元素。测量中能够独立运转的氦气系统。将使用成本化降低。