FT110AX射线荧光镀层厚度测量仪

FT110AX射线荧光镀层厚度测量仪

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具体成交价以合同协议为准
2020-08-01 23:01:12
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产品简介

FT110AX射线荧光镀层厚度测量仪通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。

详细介绍

1. FT110AX射线荧光镀层厚度测量仪通过自动定位功能提高操作性

测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大提高样品定位的操作性。

2. 微区膜厚测量精度提高

通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.1、0.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。

3. FT110AX射线荧光镀层厚度测量仪多达5层的多镀层测量

使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。

4. 广域观察系统(选配)

可从大250×200mm的样品整体图像测量位置。

5. 对应大型印刷线路板(选配)

可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。

6. 低价位

与以往机型相比,既提高了功能性又降低20%以上的价格。

型号FT110A
测量元素原子序号Ti(22)~Bi(83)
X射线源空冷式小型X射线管
管电压:50(可变更)kV
管电流:10~1000µA
检测器比例计数管
准直器○型: 0.1 mmΦ、0.2 mmΦ 他2種
样品观察CCD摄像头
对焦激光对焦(自动)
滤波器一次滤波器(自动切换)
样品区域[固定]535×530 mm
[电动] 260×210 mm (移动量X:250 mm, Y:200 mm)
测量软件薄膜FP法(大2层、10种元素)、检量线法
安全功能样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能
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