光氧废气处理设备在有机废气处理时普遍采用的是有机废气活性炭吸附处理法、催化燃烧法、催化氧化法、酸碱中和法、等离子法等多种原理。等离子法目前应用较多，但是对设计安装有一定要求，也是目前比较好的有机废气处理方法  采用低温等离子体高压放电，电场吸附有害毒体在吸烟板上，在叠加脉冲作用下打开分子键、激活自由基、释放臭氧，通过化学反映，自由结合，产生二氧化碳和水，对人体无害的同时，还在设备前后设置了各种过滤材料，针对不同废气的装置，确保**的净化效果。
 光氧废气处理设备

活性炭吸附是利用活性炭的多孔性，存在吸引力的原理而开发的。由于固体表面上存在着未平衡饱和的分子力或化学键力，因此当此固体表面与气体接触时，就能吸引气体分子，使其浓集并保持在固体表面，这种现象就是吸附现象。本工艺所采用的活性炭吸附法就是利用固体表面的这种性质，当废气与大表面的多孔性活性炭相接触，废气中的污染物被吸附在活性炭固体表面，从而与气体混合物分离，达到净化的目的。该法净化效率可达95％以上，以往工程实例数据：喷漆车间空气中二甲苯浓度可从240～960mg/m3降至10.7～20.9mg/m3，低于国家卫生标准，大大改善了工人的操作环境。

由于酸碱废气具含有大量易溶于水的HCl酸性气体，吸收法采用低挥发或不挥发性溶剂对废气中的有害成分进行吸收，再利用废气有害成分与吸收剂物理性质的差异进行分离的方法。吸收法分为物理吸收及化学吸收，又包括酸吸收法、碱吸收法、氧化还原吸收法等。遵照技术成熟，安全运行可靠的原则，建成除酸碱中和一体化湿法装置。即洗涤废气&mda在含酸碱性的洗涤液中将酸碱雾中和。