Edwards nXDS 涡旋真空泵在传统 XDS涡旋泵的基础上进行改进，提高了抽速，降低了极限压力、功耗和噪音。气镇允许泵送冷凝性蒸汽，包括水、溶剂、稀酸和碱。nXDS 涡旋泵还采用了新的端部密封技术，显著延长了端部密封更换的时间间隔。具有自动电压输入感知功能的集成变频器驱动提供整体优化的泵送性能，nXDS 涡旋泵可*进行现场维修。

涡旋真空泵特点

真空外壳中不需要使用润滑剂，*密封可保证*的清洁和干燥真空，防止交叉污染

无大气压到真空的轴封可使轴承*隔离，从而阻止制程攻击，轴承也能以更低温度运行，使用时间更长

简单的单侧滚轴布置与创新的电机和轴承设计相结合，只需低程度的特殊工具，就能实现轻松的现场服务，因此可降低运行成本，尽可能延长正常运行时间

改进了电机和传动效率，可降低功耗和运行成本

*的接口提供了各种传统、模拟和数字控制方法，可通过 USB、RS232 或 RS485 实现远程控制/监视

应用

一般清洁泵送应用

电子扫描显微镜 - SEM

射束线和高能物理

前级涡轮泵

超高速离心机

覆层

低温学

脱气/硫化 - 油，环氧树脂

蒸馏/萃取/过滤

冷冻干燥

熔炉

凝胶体干燥

实验室工作台上真空

激光、气体回收和再循环

氦检漏仪

负载锁和传输腔

稀有气体再循环

稀有气体回收

冷冻制造

研发

旋转离心蒸发器

SEM/FIB（离子束维修）

溶剂回收

表面科学仪器

技术规格